半导体废气处理?

废气治理需按照其化学属性与影响范围，将其分为四类：易燃性、毒性、腐蚀性以及温室效应气体。对于泛半导体产业的废气治理，苏州品控环境科技有限公司提供专业解决方案。

半导体废气处理技术与系统：废气通过分类密闭收集，分为酸性、碱性、有机、一般尾气等。处理系统包括本地（POU）与中央处理系统。酸性废气通过酸碱中和，使用喷淋洗涤工艺处理，常用的吸收液为NaOH或NaClO溶液。碱性废气采用喷淋洗涤处理，常用吸收液为H2SO4溶液。

在半导体工厂中，硅烷废气通常由真空Pump抽至废气处理设备Local Scrubber进行处理，然后再进一步处理。若硅烷废气未及时处理，一旦发生泄漏，可能会引发火灾、爆炸、人员中毒、环境破坏等事故，造成巨大损失。

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